微小靜電電位難捕捉？非接觸式靜電電壓表應(yīng)用解讀

半導(dǎo)體、薄膜制造等領(lǐng)域，靜電監(jiān)測(cè)失準(zhǔn)一直是行業(yè)痛點(diǎn)。生產(chǎn)過程中晶圓、功能薄膜易產(chǎn)生電荷堆積，傳統(tǒng)靜電檢測(cè)設(shè)備易受探頭間距、溫濕度環(huán)境干擾，校準(zhǔn)繁瑣、數(shù)據(jù)漂移明顯，不僅難以捕捉細(xì)微電位變化，還可能因靜電管控不到位引發(fā)器件擊穿、良品率下降等問題。

針對(duì)這一難題，華測(cè)儀器 HCEV-3kV 非接觸式靜電電壓表提出解決方案。設(shè)備搭載場(chǎng)消技術(shù)，采用非接觸式檢測(cè)方案，探頭無需接觸被測(cè)樣品，既不會(huì)劃傷、污染樣品，也不會(huì)干擾原有電場(chǎng)與電荷分布。區(qū)別于傳統(tǒng)儀器，本品不受探頭間距變化影響，試驗(yàn)時(shí)探頭靠近即可快速測(cè)量，省去反復(fù)調(diào)試、復(fù)雜校準(zhǔn)的步驟，大幅優(yōu)化試驗(yàn)效率。

儀器測(cè)量范圍覆蓋0~±3kV，可準(zhǔn)確檢測(cè)直流電與交流電峰值電壓；硬件性能表現(xiàn)優(yōu)異，1kV 階躍響應(yīng)時(shí)間＜3ms，信號(hào)捕捉靈敏迅速。整機(jī)具備低漂移特性，時(shí)間漂移低于 100ppm/小時(shí)，溫度漂移低于200ppm/℃，即便在溫濕度多變、工況復(fù)雜的產(chǎn)線環(huán)境中，也能長(zhǎng)期保持?jǐn)?shù)據(jù)穩(wěn)定可靠。設(shè)備測(cè)量精度優(yōu)于±0.05%，分辨率高達(dá)1V，可準(zhǔn)確識(shí)別微小電位波動(dòng)，實(shí)現(xiàn)靜電管控。

憑借高準(zhǔn)度、高穩(wěn)定性與適配性，該款靜電電壓表普遍應(yīng)用于半導(dǎo)體晶圓加工、功能薄膜制備、電子制造、新材料研發(fā)等場(chǎng)景，是產(chǎn)線在線監(jiān)測(cè)、實(shí)驗(yàn)室性能測(cè)試、靜電風(fēng)險(xiǎn)管控的理想設(shè)備。